Die Bestimmung des Sauerstoff- und Kohlenstoffgehalts in Silizium mithilfe der FT-IR-Spektrometrie ist schnell, präzise, nicht destruktiv, kontaktlos und relativ preisgünstig. Außerdem lässt sich die Bestimmung auch mit nur geringen theoretischen Kenntnissen über die Funktionsweise des verwendeten Geräts durchführen.
